제진장치 (除塵裝置, particulate control device)

생산공정에서 발생되는 입자상물질(분진)을 제거해주는 장치를 말한다. 후드에서 오염물질을 흡인하여 덕트를 통하여 이송 시킨 후에 제진장치에서 분진을 제거한다. 그 종류에는 중력을 이용한 중력침강장치, 원심력을 이용한 사이클론(cyclone), 여과방식을 적용한 백필터(bag filter), 전기적인 힘을 이용한 전기집진장치, 물과 접촉시켜 분진을 제거하는 세정식 집진장치(scrubber) 등이 있다. 이외에도 반도체 공장의 청정실(clean room)에서 사용하는 고효율집진장치인 HEPA(high efficiency particulate air)필터도 있다.